一、半导体行业双温区充氮洁净烤箱主要技术参数
1.内胆尺寸:(宽650*高500*深500mm)*2,上下两个温区,温度互不影响;
2.外形尺寸:宽1540*高1600*深850mm;
3.温度范围:室温~+270℃;
4.温度波动度:±1℃;
5.炉内温差:±1℃(空载、恒温状态);
6.循环风方式:二面水平运风,≥1200立方/时;
7.总功率:21KW;
二、半导体行业双温区充氮洁净烤箱箱体结构特征
1.外壳材料:采用2.0mm厚A3冷板,折弯焊接制作;
2.表面处理:表面打磨、抛光,整机外壳高温静电喷塑处理(RAL7035),设备满足10K级无尘车间使用;
3.内胆材料:采用1.5mm厚SUS304镜面不锈钢板制作,机身内部全部氩焊满焊处理,成全密闭空间,专业板金施工,不锈钢表面决无括伤且明亮如镜,美观不积尘。
三、半导体行业双温区充氮洁净烤箱培训
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