一、半导体设备洗涤自动烘干主要技术参数
1、内胆尺寸：左右双内胆，单个内胆尺寸：宽2700*高1400*深2600mm；
2、外形尺寸（约）：宽6610*高3500*深3025mm；
3、温度范围：常温～+300℃可调 ；
4、温度波动度：≤±1℃；
5、温度均匀度：≤±5℃(空载恒下测试)；
6、升温速率：≤8℃/min；
7、洁净度：Class100级（≥0.5μm尘粒≤3.5颗/升）（工作室）；
8、外壳温度：温升不超过环境+25℃，门周边除外。
9、电源：三相五线制，220V，50HZ；
10、总功率：120KW；

二、半导体设备洗涤自动烘干箱体结构特征
1、外壳材料：采用2mm厚Q235冷轧钢板（强度、塑性和焊接综合性能最好）折弯焊接制作；
2、内胆材料：采用1.5mm厚SUS304不锈钢板制作；保持内胆清洁无尘，防生锈、耐腐蚀；内部钣金与保温层全部满焊，防止保温层隔热棉泄漏，以保证洁净度。
3、箱体骨架：采用50*50*3mm角铁制作；保持箱体内外各个面的承载强度，并保留热胀冷缩系数，可防止箱体变形。
4、密封材料：密封条采用进口高温硅胶制作，可耐温不变形，门与箱体连接密封，加强密封效果；
5、门：自动上下开门，从下往上开启，共计2扇门，左右独立控制。配有升降马达，匀速控制。
三、半导体设备洗涤自动烘干培训
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